ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА АДГЕЗИЮ И СТРУКТУРУ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК, НАНЕСЕННЫХ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ
Аннотация
Приведены некоторые результаты, подтверждающие возможность модификации пленок цинка и платины, изготовленных на диэлектрических подложках, в результате эффекта термической обработки в атмосфере сухого воздуха и воздействия поперечного электрического поля. Методом сканирующей электронной микроскопии (измерения осуществлялись с помощью микроскопа Zeiss Merlin) была исследована морфология поверхности пленок, а микрорентгеноспектральным анализом был исследован их элементный состав. На стеклянных подложках методом вакуумного термического испарения получены пленки цинка (Zn) толщиной ~500 нм. С целью формирования пленок ZnO, исходные пленки в одном случае обработаны при температуре 250 °С в атмосфере сухого воздуха, а в другом – дополнительно к образцу приложено поперечное электрическое поле с потенциалом 300 В. Пленки платины на слое диоксида кремния были получены методом ионно-плазменного распыления и исследованы с помощью рентгенофазового анализа, электронной и атомно - силовой микроскопии. Толщина слоев платины составляла 50 и 100 нм Во время осаждения (температура осаждения - 300 °C, скорость осаждения - 5 нм/мин) между платиновой пленкой и кремниевой пластиной прикладывалось напряжение 5В. У пленок, полученных с подачей смещения, обнаружилась более однородная мелкозернистая структура и более высокая скорость роста по сравнению с контрольными образцами. Таким образом, пленки ZnO могут быть изготовлены с расширенной поверхностью, а нанесенные пленки платины демонстрируют более высокую скорость роста. Обсуждается возможность существенных изменений, вызванных использованием электрического поля в адгезии, структуре и проводящих свойствах покрытий
Для цитирования:
Пщелко Н.С., Водкайло Е.Г., Томаев В.В., Клименков Б.Д., Кошевой В.Л., Белорус А.О. Влияние электрического поля на адгезию и структуру проводящих пленок, нанесенных на диэлектрические подложки. Изв. вузов. Химияихим. технология. 2017. Т. 60. Вып. 8. С. 100-104.
Литература
Pshchelko N.S. The use of an electric field to increase the adhesion of the electrically conductive films to dielectric substrates by vacuum deposition. Vacuum equipment and technology. 2010. V. 1. N 31.
Vodkaylo E.G., Pshchelko N.S., Tomayev V.V., Polishchuk V.A., Borisov E.N. Production and Research of Nanocrystalline ZnO films. Smart Nanocomposites. 2015. V. 6. N 90.
Tomaev V.V., Tver’yanovich Yu.S., Bal’makov M.D., Zvereva I.A., Borisov E.N., Missyul A.B. Obtaining and study of nano composite films 0.7AgI ∙ 0.3ZnO. Fizika I Khim. Stekla. 2009. V. 35. N 6. P. 668-672 (in Russian).
Bobkov A.A., Lashkova N.A., Maximov A.I., Moshnikov V.A., Nalimova S.S. Fabrication of oxide heterostructures for promising solar cells of a new generation. Semiconductors. 2017. V. 51. N 1. P. 61–65.
Afanasiev V.P., Chygirev D.A., Pshchelko N.S., Sidorova N.P. Effect of static electric field on the processes of deposition of thin films of metallic platinum by ion-plasma sputtering. Proceedings of Russian universities. Electronics. 2010. V. 6. N 59.
