СЕЛЕКТИВНЫЙ РОСТ ГРАФЕНОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ
Аннотация
Описан способ управления качеством углеродных пленок, полученных методом пиролиза паров этанола на поверхности диэлектрических подложек, предварительно засвеченных электронным лучом. Изучено влияние дозы предварительного экспонирования подложек на степень структурного совершенства осаждаемых пленок.
Литература
Zhang L., Shi Z., Wang Y., Yang R., Shi D., Zhang G. Nano Res. 2011. V. 4. N 3. P. 315-321. DOI: 10.1007/ s12274-010-0086-5.
Muñoz R., Gómez-Aleixandre C. J. Phys. D: Appl. Phys. 2014. V. 47. N 4. P. 045305. DOI: 10.1088/0022-3727/ 47/4/045305.
Sedlovets D., Red'kin A., Korepanov V., Trofimov O. Inorg. Mat. 2012. V. 48. N 1. P. 34-39.
Lippert G., Dabrowski J., Lemme M., Marcus C., Seifarth O., Lupina G. Phys. status solidi (b). 2011. V. 248. N 11. P. 2619-2622. DOI: 10.1002/pssb.201100052.
Lin M.-Y., Su C.-F., Lee S.-C., Lin S.-Y. J. Appl. Phys. 2014. V. 115. N 22. P. 223510. DOI: 10.1063/1.4883359.
Sun J., Lindvall N., Cole M.T., Wang T., Booth T.J., Boggild P., Teo K.B., Liu J., Yurgens A. J. Appl. Phys. 2012. V. 111. N 4. P. 044103. DOI: 10.1063/1.3686135.
Chen J., Wen Y., Guo Y., Wu B., Huang L., Xue Y., Geng D., Wang D., Yu G., Liu Y. J. Am. Chem. Soc. 2011. V. 133. N 44. P. 17548-17551.
Sedlovets D., Redkin A., Korepanov V. Appl. Sur. Sci. 2013. V. 275. P. 278-281. DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.12.116.
Knyazev M.A., Sedlovets D.M. Presentation of XXVI Russina Conf. on Electron Microscopy. 2016. V. 1. P. 366-367 (in Russian)
Snow E., Grove A., Fitzgerald D. Proceedings of the IEEE. 1967. V. 55. N 7. P. 1168-1185.
Bai M., Pease F. J. Vac. Sci. & Tech. B. 2004. V. 22. N 6. P. 2907-2911. DOI: 10.1116/1.1826062.
Vallayer B., Blaise G., Treheux D. Rev. sci. instrum. 1999. V. 70. N 7. P. 3102-3112. DOI: 10.1063/1.1149887.
Rau E., Evstaf'eva E., Zaitsev S., Knyazev M., Svintsov A., Tatarintsev A.C. Russian Microelectronics. 2013. V. 42. N 2. P. 89-98.
Barnes J., Hoole A., Murrell M., Welland M., Broers A., Bourgoin J., Biebuyck H., Johnson M., Michel B. Appl. Phys. Lett. 1995. V. 67. N 11. P. 1538-1540. DOI: 10.1063/1.114485.
