СОЗДАНИЕ РАЗВИТОЙ ПОВЕРХНОСТИ СИНТЕТИЧЕСКИХ МОНОКРИСТАЛЛОВ АЛМАЗА ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ УДЕЛЬНОЙ МОЩНОСТИ БЕТА-ВОЛЬТАИЧЕСКИХ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ
Аннотация
Исследован процесс реактивного ионного травления синтетического монокристалла алмаза с использованием толстых контактных защитных масок из оксида и нитрида алюминия с целью увеличения площади поверхности алмаза. Определены селективности оксида и нитрида алюминия к травлению. Разработана методика формирования на поверхности алмаза рельефных структур – гребенок выстой более 2 мкм, периодом 5 мкм, крутизной стенок 45°, увеличивающих площадь поверхности алмазных пластин в 1,3 раза.
Литература
Bormashov V., Troschiev S., Volkov A., Tarelkin S., Korostylev E., Golovanov A., Kuznetsov M., Teteruk D., Kornilov N., Terentiev S., Buga S., Blank V. PSS(a). 2015. V. 212. N 11. P. 2539–2547. DOI: 10.1002/pssa.201532214.
Bormashov V., Tarelkin S., Buga S., Kuznetsov M., Terentiev S., Senenov A., Blank V. Diam. Relat. Mater. 2013. V. 35. P. 19–23. DOI: 10.1016/j.diamond.2013.02.011.
Sachenko A., Shkrebtii A., Korkishko R., Kostylyov V., Kulish M., Sokolovskyi I. Solid-State Electron. 2015. V. 111. P. 147–152. DOI: 10.1016/j.sse.2015.05.042.
Pernegger H., Roe S., Weilhammer P., Eremin V., Frais-Kölbl H., Griesmayer E., Kagan H., Schnetzer S., Stone R., Trischuk W., Twitchen D., Whitehead A. J. Appl. Phys. 2005. V. 97. N 7. P. 73704. DOI: 10.1063/1.1863417.
Tarelkin S., Bormashov V., Korostylev E., Troschiev S., Teteruk D., Golovanov A., Volkov A., Kornilov N., Kuznetsov M., Prikhodko D., Buga S. PSS(a). 2016. P. 1–6. DOI: 10.1002/pssa.201533060.
Tran D.T., Fansler C., Grotjohn T.A., Reinhard D.K., Amussen J. Diam. Relat. Mater. 2010. V. 19. P. 778–782. DOI: 10.1016/j.diamond.2010.02.001.
Noehammer B., David C., Rothuizen H., Hoszowska J., Siminovisi A. Microelectron. Eng. 2003. V. 67-68. P. 453-460 DOI: 10.1016/S0167-9317(03)00101-1.
Golovanov A., Bormashov V., Volkov A., Tarelkin S., Buga S., Blank V. Trudy MFTI. 2013. V. 5. N 1. P. 31-35 (in Russian).
Bormashov V.S., Golovanov A.V., Volkov A.P., Tarelkin S.A., Buga S.G., Blank V.D. Izv. Vyssh. Uchebn. Zaved. Khim. Khim. Tekhnol. 2014. V. 57. N 5. P. 4-7 (in Russian).
Sorokin B.P., Kvashnin G.M., Bormashov V.S., Volkov A.P., Telichko A.V., Gordeev G.I., Golovanov A.V. Izv. Vyssh. Uchebn. Zaved. Khim. Khim. Tekhnol. 2014. V. 57. N 5. P. 17–21. (in Russian).
