@article{Efremov_Betelin_Kwon_2023, title={О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 И Si3N4 В ПЛАЗМЕ HBr + Ar}, volume={66}, url={http://ctj-isuct.ru/article/view/4861}, DOI={10.6060/ivkkt.20236606.6786}, number={6}, journal={ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ»}, author={Efremov, Alexander M. and Betelin, Vladimir B. and Kwon, Kwang-Ho}, year={2023}, month={май}, pages={37-45} }