Efremov, A.M. и Kwon, K.-H. 1. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ CF4/O2/Ar. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 60, 1 (1), 50-55. DOI:https://doi.org/10.6060/tcct.2017601.5518.