Efremov, A. M., & Kwon, K.-H. (1). ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ CF4/O2/Ar. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 60(1), 50-55. https://doi.org/10.6060/tcct.2017601.5518