Efremov, A. M., Smirnov, S. A., Betelin, V. B., & Kwon, K.-H. (2023). О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 66(8), 54-62. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20236608.6746