Efremov, A. M., Betelin, V. B., & Kwon, K.-H. (2023). О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 И Si3N4 В ПЛАЗМЕ HBr + Ar. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 66(6), 37-45. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20236606.6786