EFREMOV, A. M.; KWON, K.-H. СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКA ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ CF4/C4F8/Ar/He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8 И МОЩНОСТИ СМЕЩЕНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 65, n. 10, p. 47-53, 17 авг. 2022.