Efremov, Alexander M., Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. 2020. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ C4F8 + Ar + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 63 (6), 37-43. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20206306.6163.