Efremov, Alexander M., Sergey A. Smirnov, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. 2022. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ Cl2 + BCl3 + Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 65 (3), 14-21. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20226503.6463.