Efremov, Alexander M., Sergey A. Smirnov, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. 2023. «О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 66 (8), 54-62. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20236608.6746.