Efremov, A. M., Smirnov, S. A., Betelin, V. B. и Kwon, K.-H. (2022) «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ Cl2 + BCl3 + Ar», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 65(3), сс. 14-21. doi: 10.6060/ivkkt.20226503.6463.