Efremov, A. M., Betelin, V. B. и Kwon, K.-H. (2022) «ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ C6F12O + O2», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 65(4), сс. 30-38. doi: 10.6060/ivkkt.20226504.6534.