Efremov, A. M., Betelin, V. B. и Kwon, K.-H. (2023) «О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 И Si3N4 В ПЛАЗМЕ HBr + Ar», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 66(6), сс. 37-45. doi: 10.6060/ivkkt.20236606.6786.