Efremov, A. M., Bobylev, A. V. и Kwon, K.-H. (2024) «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В СМЕСИ CF4 + C4F8 + O2: ЭФФЕКТ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 67(6), сс. 29-37. doi: 10.6060/ivkkt.20246706.6982.