Gotkis, Y. (2018) «НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МИКРОСХЕМ: ЗАКОНЫ МУРА, МЕЖДУНАРОДНАЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОД-НИКОВ И ОСНОВНЫЕ ВЫЗОВЫ В СОВРЕМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 59(11), сс. 4-18. doi: 10.6060/tcct.20165911.5503.