[1]
A. M. Efremov, D. E. Bashmakova, и K.-H. Kwon, «О ВЛИЯНИИ КИСЛОРОДА НА КИНЕТИКУ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СМЕСЯХ CF4 + O2 И C4F8 + O2», ХИХТ, т. 67, вып. 1, сс. 51-59, дек. 2023.