A. M. Efremov, A. V. Bobylev, и K.-H. Kwon, «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В СМЕСИ CF4 + C4F8 + O2: ЭФФЕКТ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8», ХИХТ, т. 67, вып. 6, сс. 29-37, май 2024.