Efremov, A. M., S. A. Smirnov, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ Cl2 + BCl3 + Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», т. 65, вып. 3, февраль 2022 г., сс. 14-21, doi:10.6060/ivkkt.20226503.6463.