Efremov, A. M., V. B. Betelin, и K.-H. Kwon. «О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 И Si3N4 В ПЛАЗМЕ HBr + Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», т. 66, вып. 6, май 2023 г., сс. 37-45, doi:10.6060/ivkkt.20236606.6786.