Efremov, Alexander M., Sergey A. Smirnov, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 66, no. 8 (июнь 24, 2023): 54-62. просмотрено май 11, 2024. http://ctj-isuct.ru/article/view/4723.