Efremov, Alexander M., Alexander V. Bobylev, и Kwang-Ho Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В СМЕСИ CF4 + C4F8 + O2: ЭФФЕКТ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 67, no. 6 (май 4, 2024): 29-37. просмотрено июль 3, 2024. http://ctj-isuct.ru/article/view/5401.