Efremov AM, Smirnov SA, Betelin VB, Kwon K-H. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ Cl2 + BCl3 + Ar. ХИХТ [Интернет]. 5 февраль 2022 г. [цитируется по 2 май 2024 г.];65(3):14-1. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/3627