Efremov AM, Betelin VB, Mednikov KA, Kwon K-H. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСЯХ ФТОРУГЛЕРОДНЫХ ГАЗОВ С АРГОНОМ И КИСЛОРОДОМ. ХИХТ [Интернет]. 18 июнь 2021 г. [цитируется по 6 май 2024 г.];64(7):46-3. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/3645