Efremov AM, Betelin VB, Kwon K-H. ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ C6F12O + O2. ХИХТ [Интернет]. 19 март 2022 г. [цитируется по 3 май 2024 г.];65(4):30-8. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/3924