Efremov AM, Bashmakova DE, Kwon K-H. ОСОБЕННОСТИ СОСТАВА ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКИ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ CHF3 + O2. ХИХТ [Интернет]. 1 январь 2023 г. [цитируется по 26 апрель 2024 г.];66(1):48-5. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/4430