Efremov AM, Smirnov SA, Betelin VB, Kwon K-H. О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ. ХИХТ [Интернет]. 24 июнь 2023 г. [цитируется по 11 май 2024 г.];66(8):54-2. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/4723