Efremov AM, Bobylev AV, Kwon K-H. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В СМЕСИ CF4 + C4F8 + O2: ЭФФЕКТ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8. ХИХТ [Интернет]. 4 май 2024 г. [цитируется по 3 июль 2024 г.];67(6):29-7. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/5401