СИНТЕЗ ОКСИДА РУТЕНИЯ (IV) НА ТАНТАЛЕ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ - Gants, Oksana Y.; Yudina, Angelina D.; Zhirnova, Valentina O.; Timonina, Anna S.; Lyukshina, Yulia I.; Akhmatova, Anna A. (ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 2020)