ОСОБЕННОСТИ СОСТАВА ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКИ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ CHF3 + O2 - Efremov, Alexander M.; Bashmakova, Daria E.; Kwon, Kwang-Ho (ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 2023)