О ВЛИЯНИИ КИСЛОРОДА НА КИНЕТИКУ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СМЕСЯХ CF4 + O2 И C4F8 + O2 - Efremov, Alexander M.; Bashmakova, Daria E.; Kwon, Kwang-Ho (ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 2023)