О ВЛИЯНИИ НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА СМЕСИ CF4 + CHF3 + O2 НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ - Efremov, Alexander M.; Bobylev, Alexander V.; Kaznacheeva, Ekaterina M.; Kwon, Kwang-Ho (ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 2024)