ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He НА СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В CF4- И C4F8- СОДЕРЖАЩИХ ТРЕХКОМПОНЕНТНЫХ СМЕСЯХ - Efremov, Alexander M.; Betelin, Vladimir B.; Kwon, Kwang-Ho (ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 2025)