ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ SF6 + He + O2: ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ВЫСОКИХ И НИЗКИХ СОДЕРЖАНИЯХ КИСЛОРОДА - Miakonkikh, Andrey V.; Kuzmenko, Vitaly O.; Efremov, Alexander M.; Rudenko, Konstantin V. (ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 2025)