Efremov, A.M., Rybkin, V.V., Betelin, V.B. и Kwon, K.-H. 2019. О МЕХАНИЗМАХ ВЛИЯНИЯ КИСЛОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ HBr + Cl2 + O2. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 62, 10 (окт. 2019), 76-83. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20196210.6046.