Efremov, A.M., Sobolev, A.M., Betelin, V.B. и Kwon, K.-H. 2019. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 62, 12 (дек. 2019), 108-118. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20196212.6032.