Efremov, A.M., Murin, D.B. и Kwon, K.H. 2018. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ CF4+C4F8+Ar. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 61, 4-5 (апр. 2018), 31-36. DOI:https://doi.org/10.6060/tcct.20186104-05.5695.