Efremov, A.M., Smirnov, S.A., Betelin, V.B. и Kwon, K.-H. 2022. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ Cl2 + BCl3 + Ar. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 65, 3 (фев. 2022), 14-21. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20226503.6463.