Efremov, A.M., Betelin, V.B. и Kwon, K.-H. 2022. ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ C6F12O + O2. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 65, 4 (мар. 2022), 30-38. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20226504.6534.