Efremov, A.M., Bashmakova, D.E. и Kwon, K.-H. 2023. ОСОБЕННОСТИ СОСТАВА ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКИ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ CHF3 + O2. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 66, 1 (янв. 2023), 48-55. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20236601.6667.