[1]
Efremov, A.M., Bashmakova, D.E. и Kwon, K.-H. 2023. О ВЛИЯНИИ КИСЛОРОДА НА КИНЕТИКУ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СМЕСЯХ CF4 + O2 И C4F8 + O2. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 67, 1 (дек. 2023), 51-59. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20246701.6721.