Efremov, A.M., Smirnov, S.A., Betelin, V.B. и Kwon, K.-H. 2023. О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 66, 8 (июн. 2023), 54-62. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20236608.6746.