Efremov, A.M., Bobylev, A.V. и Kwon, K.-H. 2024. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В СМЕСИ CF4 + C4F8 + O2: ЭФФЕКТ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 67, 6 (май 2024), 29-37. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20246706.6982.