Miakonkikh, A.V., Kuzmenko, V.O., Efremov, A.M. и Rudenko, K.V. 2025. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИЯ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ SF6 + Ar + He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He, ДАВЛЕНИЯ И ВКЛАДЫВАЕМОЙ МОЩНОСТИ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 68, 3 (янв. 2025), 42-49. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20256803.7130.