[1]
Miakonkikh, A.V., Kuzmenko, V.O., Efremov, A.M. и Rudenko, K.V. 2025. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ SF6 + He + O2: ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ВЫСОКИХ И НИЗКИХ СОДЕРЖАНИЯХ КИСЛОРОДА. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 69, 1 (ноя. 2025), 29-38. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20266901.7285.