[1]
Tarelkin, S.A., Kornilov, N.V., Kuznetsov, M.S., Luparev, N.V., Martyushov, S.Y. и Timoshenko, V.O. 2025. ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ АЛМАЗНЫХ СЛОЕВ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ АЛМАЗНУЮ ПОДЛОЖКУ, ЛЕГИРОВАННУЮ АЗОТОМ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 68, 9 (июн. 2025), 60-65. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20256809.11y.