Etmisheva, S.S., Maksumova, A.M., Nizameeva, G.R., Kholin, K.V. и Abdulagatov, I.M. 2026. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ХЛОРИДА АЛЮМИНИЯ И ВОДЫ МЕТОДОМ КВАРЦЕВОГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО МИКРОВЗВЕШИВАНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ». 69, 9 (июл. 2026), 89-97. DOI:https://doi.org/10.6060/ivkkt.20266909.6910.