Efremov, A. M.; Sobolev, A. M.; Betelin, V. B.; Kwon, K.-H. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ. ХИХТ 2019, 62, 108-118.