Efremov, A. M.; Kwon, K.-H. СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКA ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ CF4/C4F8/Ar/He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8 И МОЩНОСТИ СМЕЩЕНИЯ. ХИХТ 2022, 65, 47-53.